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    東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差

    點擊次數:218  發布時間:2023-04-28

    東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

    1.G1?G2接觸子間放入微動臺。

    2.先移動G1接觸子、控制部指示値為行程的一時,(-210~-220μm)固定接觸子。

    .然后移動G2接觸子、控制部指示値μ時固定接觸子。

    4.微動臺朝返回方向返回100μ(100μ)、確認控制部 指示値。

    5.微動臺至進給原位置(零位置)、確認控制部 指示値0μm〔注1〕。

    6.微動臺在進給方向進給100μm(100μm)、確認控制部指示値。

     7.微動臺回到原位置(零位置)、確認控制部指示値0μm〔注1〕。

    8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm。

     9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時需再調整、重復[1.][8.]的作業。不超過時進行接下來的檢查。

    〔注1〕 微動臺在原位置(零位置)、控制部指示値不為0μm、需調整接觸子重復〔4.〕~〔6.〕的作業。

     ※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量(別紙)。


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